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・スラッジレス技術とその効果 ・消泡剤フリー技術製品 ・保管、取扱い、安全資料 ・ステップタブレット |
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 従来のドライフィルムでは、現像工程中において現像液への ドライフィルムの溶解量が進むにつれ発泡現象が見られ、消泡剤と呼ばれる界面活性剤を定期的に添加する必要がありました。 消泡剤は作業性の低下やコスト増、環境への負荷等の要因として挙げられてきました。 [ 発泡性実験 ] |
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現像液： 1% Na2CO3水溶液 レジスト溶解量0.4m2/㍑ （25μmレジスト厚み換算） ポンプ流速：100ml/min |
[ 発泡性（消泡剤なし） ] |
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この度開発されたリストンR FXRシリーズでは、これらの発泡を抑える
“消泡剤フリーテクノロジー”を用いることにより、現行の現像工程を変更することなく、
必要とされてきたこれら消泡剤を激減、或いは全く使用せずに現像液管理が行なえる
機構を開発いたしました。 これにより、現像工程における作業性や消泡剤にかかるコスト、環境への負荷などが 低減できると考えております。 |
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リストン® は、 デュポン社または関連会社の商標または登録商標です。 |
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